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不再被"卡脖子"!无极4平台产品清华首台12英
作者:无极4平台 来源:无极4平台 发布时间:2021-10-06

清华大学官方消息显示,无极4平台产品 近日清华大学首台12英寸超精密晶圆减薄机(Versatile-GP300)正式出机,发往国内某集成电路龙头企业。
据悉,该装备由清华大学机械系路新春教授带领清华大学成果转化项目公司华海清科研发完成,无极4注册网站 过程中相继攻克晶圆背面超精密磨削、平整度智能控制、表面损伤及缺陷控制系列核心技术,无极4账号注册 产品将应用于3D IC制造、先进封装等芯片制造大生产线,满足12英寸晶圆超精密减薄工艺需求。